반도체 설비 엔지니어가 말하는 장비 반입부터 가동 까지의 A to Z

 

반도체 설치 엔지니어가 말하는 장비 반입부터 가동까지의 A to Z

1️⃣ 장비 반입 전 반드시 준비해야 할 것들

반도체 장비 반입은 계획부터 꼼꼼해야 한다. 고가의 장비가 공장에 도착하기 전에, 반입 경로와 장비가 지나갈 문, 리프트의 적재 하중까지 모두 확인해야 한다. 공장 내부는 클린룸이기 때문에 반입 중 발생할 수 있는 오염도 철저히 관리해야 한다. 이를 위해 반입 전 장비 외부 청소, 진공 포장 해제 구역 설치 등 세부 준비를 거친다. 설비 엔지니어는 관련 부서와 운반업체, 현장 chip maker 엔지니어와 협업하며 문제없이 반입이 완료되도록 모든 조건을 점검한다.

2️⃣ 장비 반입 단계별 절차와 주의사항

장비 반입 당일에는 정해진 시각에 맞춰 크레인, 지게차, 리프트 등의 장비가 동원된다. 수 톤에 달하는 장비를 좁은 통로로 들여보내야 하기 때문에 현장 엔지니어가 직접 진두지휘하며 방향, 높이, 이동 속도를 조절한다. 장비가 파손되지 않도록 진동과 충격을 최소화하는 것도 중요하다. 반입이 끝나면 장비를 설치 위치에 정확히 맞추고 수평 조절을 통해 장비의 안정성을 확보한다. 이 과정에서 작은 실수도 큰 문제로 이어질 수 있기 때문에 엔지니어의 집중력이 필수다.

3️⃣ 장비 시운전(테스트) 과정과 중요성

장비 설치가 끝났다고 바로 양산에 투입되는 것은 아니다. 반드시 시운전을 통해 장비가 설계 스펙에 맞게 동작하는지 확인해야 한다. 전원과 배관 연결 상태, 진공 압력 유지, 공조 조건 등이 모두 정상인지 점검하고, 공정팀과 함께 테스트 웨이퍼를 투입해 생산 조건을 시뮬레이션한다. 시운전 단계에서 발견된 문제는 즉시 수정하고, 이 과정에서 문제 원인에 따라 파트 교체 등과 같은 문제 해결 Action item을 수행한다. 이 과정이 철저해야 양산 이후 품질 문제가 최소화된다.

4️⃣ 가동 승인과 설치 엔지니어의 역할

시운전이 완료되면 공정팀과 품질팀의 최종 승인 절차를 거쳐 장비는 본격적으로 가동된다. 그러나 설치 엔지니어의 역할은 여기서 끝나지 않는다. 초기 가동 중에도 돌발적인 오류가 발생할 수 있기 때문에 일정 기간 현장에 상주하며 안정적인 생산이 이어지도록 모니터링한다. 초기 데이터는 장비 상태를 판단하는 기준이 되며, 설치 엔지니어는 이를 분석해 다음 설치 시 개선점을 찾는다. 앞으로 이 블로그를 통해 반도체 장비 반입부터 가동까지의 실제 사례와 팁을 더 공유할 예정이다.